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             德國耶拿：ICP法測試氮化鋁中雜質Si

德國耶拿：ICP法測試氮化鋁中雜質Si本文用HR-PQ9000，ICP法測定了＞99.95%氮化鋁（AlN）中的雜質成分。數(shù)據(jù)表明，雖是堿溶，試液含鹽量＞20g/L，基體干擾較大，標準曲線濃度低達0.010～0.50 μg/mL，但有基體匹配的5點校正的線性擬合系數(shù)R=0.9995～0.99999，RSD＜2.9%，消除了基體干擾和影響；德國耶拿：ICP法測試氮化鋁中雜質Si同一元素不同譜線的測定結果比對得較好；兩個平行樣也平行得較好，充分顯示了PQ9000的高分辨率、高靈敏度、高穩(wěn)定性和材料純度分析的*能力。